Плазманың түріне байланысты квази тепе-теңді және тепе-теңсіз процесстер болады. Квази тепе-теңді процесстер плазма компонеттерінің(электрон, ион, бейтарап бөлшек)температурасының бірдей болуымен сипатталады. Тепе-теңсіз процесстер плазма компонетерінің температураларында алшақтық болуымен сипатталады. Мысалы, электрон температурасы ауыр бөлшектер температурасынан әлдеқайда жоғары болуы мүмкін.
Плазманың түріне байланысты квази тепе-теңді және тепе-теңсіз процесстер болады. Квази тепе-теңді процесстер плазма компонеттерінің(электрон, ион, бейтарап бөлшек)температурасының бірдей болуымен сипатталады. Тепе-теңсіз процесстер плазма компонетерінің температураларында алшақтық болуымен сипатталады. Мысалы, электрон температурасы ауыр бөлшектер температурасынан әлдеқайда жоғары болуы мүмкін.
Әсер ететін жүйенің фазалық құрамына, өңделетін заттар мен өнімге байланысты плазмохимиялық процесстер гомогенді және гетерогенді болып бөлінеді. Плазма(газ)кез-келген плазмохимиялық жүйенің міндетті компоненті болғандықтан, шикізат пен өнім реакциялары бір фазада-газдық фазада болғанда гомогенді жүйе орнайды. Гетерогенді процесс шикізат немесе өнім конденсирленген фазада-сұйық немесе қаттыда болғанда орнайды.
Плазмохимиялық процесс жекелеген технологиялық сатылардан тұрады: плазма пайда болатын газды дайындау, реагенттерді дайындау: плазманы және реагентті генерациялау, реагенттерді плазмамен қыздыру, реагенттердің физикалық және химиялық айналуы, плазмохимиялық синтезді өнімдрдің бөлініп шығуы, жанама өнімдердің бейтараптандырылуы. Барлық сатылар өзара байланыста қарастырылғанда оңтайлы технологиялық процесс орындалады.
Плазманы алу
Плазманы алу принципі. Төмен температуралы плазманы алу электрлік энергияның газдың жылулық энергияға түрленуіне негізделеді. Плазма пайда болатын газды қыздырғанда(410) К екі атомды газда диссоциация болады. Диссоциацияны болдыру үшін газға 360-тан 880 кДж/моль аралығында энергия беру керек. Газды (1030) К аралығында қыздырғанда 920-дан 2400 кДж/моль-ге дейін энергия шығынын қажет ететін ионизация пайда болады. Газдардың көбісі Т> К кезінде иондалу дәрежесі электр тогынын өтуіне жеткілікті болғанда плазмалық жағдайға келеді.
