К физическим методам очистки дымовых газов от оксидов азота можно отнести удаление их при воздействии микросекундного пучка электронов.
В настоящее время интенсивно исследуются электрофизические методы очистки дымовых газов. В их основе лежит использование для ионизации газа различного рода электрических разрядов и электронных пучков. В ионизированном с их помощью влажном газе протекают реакции образования свободных радикалов типа О, ОН, О2Н. Эти радикалы вступают в реакции с оксидами азота, в результате чего образуется азотная кислота. При добавлении аммиака кислота образует соли аммония в виде твердого порошка, которые улавливаются с помощью различного рода фильтров. С точки зрения получения низких энергозатрат эффективно использование электронных пучков. В связи с достаточной технологической проработкой для этих целей применяются непрерывные ускорители, формирующие электронные пучки с плотностью тока 10-9 - 10-5 А/см2. При этом достигаются высокая степень очистки от оксидов азота - до 98 - 100%, затраты энергии на удаление одной токсичной молекулы составляет величину 15 - 20 еV