Интерферометрлер. Бұл типтегі өлшеу құралдарында жарық интерфернециясының қағидасы пайдаланылады. Бұл осы класстың ең дәл аспаптары болып табылады. Олар үлгілік бөлшектерді, калибрлерді және соңғы өлшемдерді аттестаттау үшін қолданылады. Олар лазермен бірге үйлесе отырып, 10-13 м-ге дейінгі ұзындықтың өзгеруін тіркей алады және окулярлық, экрандық, сандық есептік құрылғылармен қамтылған. Вертикалды (264 модель) және горизонталды (273 модель) өлшеулерге арналған түрлері шығарылады.
Контактілі интерферометрлерде 0,05-тен 0,2 мкм-ге дейінгі ауыспалы бөліну бағасы бар және Майкельсон сұлбасы бойынша жұмыс істейді. Жарық жарық көзінен (2, 5.7-сурет) конденсатор (3) және фильтр (4) арқылы жартылай мөлдір бөлгіш пластинаға (5) түседі, сол жақтан өлшеу тілшесі бар пинолға бекітілген айнаға (8) сәулелердің бір бөлігі түседі, ал басқа бір бөлігі пластина (6) арқылы индикаторлы айнаға (1) түседі.
Қос айнадан шағылған жарық сәулелері объективте (7) қалыңдығы бірдей жолақтармен интерференциялық суретті түзеді.
Ақ түспен жарықтандырғанда окулярдың көру өрісінде орталықта қара және бүйір жақтарда боялған жолақшалар пайда болады. Монохроматты жарықтандыруды туғызатын жарық фильтрін енгізген кезде, окулярдың көру өрісінде интенсивтілігі бірдей жолақтар пайда болады, олардың арақашықтығы жарық фильтрінің жарық толқынының жартысына сәйкес келеді.
Интерферометрдің өндірістік мүмкіндіктерін кеңейту – жұмыс жылдамдығын, өлшеу диапазонын, дәлдікті жоғарылатады, шуға, дірілге сезімталдықты болдырмайды, жарық сәулесінің шығынын азайтатын, жарық ағынының үлкен монохроматтылығы мен интенсивтілігін қамтитын лазерлерді қолдануға әсер етеді.