Практическая ценность работы

5 
подложки 150 мм со скоростью до 500 нм/ч и при осаждении модифицировать их свой-
ства импульсно-периодической бомбардировкой атомами аргона с энергией более 1 кэВ;
– разработан источник смешанного потока диаметром 200 мм металлического пара 
и быстрых молекул, бомбардирующих покрытие, синтезируемое на поверхности изде-
лия из осаждаемого пара и химически активного газа, который позволяет нагревать мас-
сивный инструмент и активировать его поверхность пучком атомов аргона с энергией до 
3 кэВ и эквивалентным током до 1,5 А, без затупления режущих кромок упрочнять его 
поверхностный слой азотированием в плазме, образованной при инжекции в камеру 
пучка молекул азота с энергией до 3 кэВ и эквивалентным током до 1,5 А, а затем синте-
зировать на упрочненной поверхности твердые покрытия, например, из нитрида титана, 
со скоростью осаждения до 4 мкм/ч при расстоянии от источника до обрабатываемой 
поверхности 200 мм; 
Результаты внедрения. 
Полученные результаты используются в технологических экспериментах на мо-
дернизированной установке «Булат-6» по упрочнению режущего инструмента из быст-
рорежущей стали, твердого сплава и оксидной керамики путем синтеза на его поверхно-
сти покрытий из нитрида титана. Отсутствие в покрытиях макрочастиц титана и их вы-
сокая адгезия позволяют повысить стойкость инструмента до 2-х раз по сравнению с 
традиционной вакуумно-дуговой технологией. Эти результаты уже используются в 
учебном процессе при чтении дисциплины «Ионно-плазменная обработка инструмента 
и деталей машин».
Источник с металлическими фольгами на стенках полого катода, исключающий 
потери распыляемого материала, внедрен на установках новой серии для производства 
тонкопленочных приборов «Ирида» (ООО «ЭСТО-Вакуум», Москва, Зеленоград). 

жүктеу/скачать 0,69 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: