5 Электронды - оптикалық әдістер
5.1 Негізгі электронды микроскоп. Электронды микроскоптың түрлері.
Қатты денелер бетін микроскопиялық зерттеу әдістері. Оптикалық, электрондық және иондық микроскоптарды салыстыру электронды оптикалық теориясының негізі (Контрасттың пайда болу принципі). Ажырату қабілеті.
Қатты денелердің бетін бөлшектеп зерттеу үшін әртүрлі көптеген әдістер бар. 2 – кестеде бетті зерттеудің әр түрлі микро-скопиялық әдістерінің салыстырмалы сипаттамалары келтірілген. Олардың алғашқы төртеуі фокусталған сәуле шоғының бөлшектеріне негізделген (фотондар, электрондар, иондар және т.б).
2 кесте - Қатты денелердің бетін зерттеудің әр түрлі микроскопиялық әдістерінің салыстырмалы сипаттамалары
Әдіс
|
Үлкейту
|
Жұмыс ортасы
|
Бейне өлшемділігі
|
Үлгіге әсері
|
Оптикалық микроскопия
|
103
|
ауа, сұйықтық
|
2D
|
бұзбайтын
|
Лазерлік сканирлеу
|
104
|
ауа
|
2D
|
бұзбайтын
|
Сканирлеуші электронды микроскоп
|
106
|
вакуум
|
2D
|
ажырату
|
Иондық микроскоп
|
109
|
вакуум
|
2D
|
ажырату
|
Сканирлеуші зондтық микроскоп
|
109
|
вакуум,
ауа, сұйықтық
|
3D
|
бұзбайтын
|
Микроскоптың ажырату күші немесе ажырату қабілеті деп шектік ажырату қашықтықтығына кері шаманы айтады. Шектік ажырату қашықтығы дегеніміз – бұл екі нүкте арасындағы ең аз қашықтық, олардың ажыратылған бейнесі микроскопта алынуы мүмкін.
Достарыңызбен бөлісу: |