Нанофотоника. Нанометрлік өлшемдік аймақта жарықты локализациялау. Өлшейтін толқындар. Беттік плазмондар. Жақын өрістер.
Оптикалық наноматериалдар. Электрондарды кванттық локализациялау. Оптикалық наноматериалдар. Диэлектрик матрицалардағы метал нанобөлшектері. Фотондық кристалдар. Нанолитографияның оптикалық әдістері. Фотонды кристалдар базасындағы оптикалық жиілік.
Таза нанотехнологияға кіріспе. «Таза бөлме» терминінің анықтамасы.Таза бөлменің техника мен ғылымның дамуындағы ролі. Таза бөлменің стандарт түрлері. Таза бөлме түрлері. Көлемдік ауадағы таза бөлме түрлері. Түтікшелі таза бөлме. Таза бөлмелердің бір бағытты ағындардан өзгешелігі. Тазалықтың класстары. Бір бағытты ағынды таза бөлмелер. Турбулентті таза бөлмелерден айырмашылығы. Тазалықтың қандай класстарына есептелген?
Нанолитография Кіріспе, «микролитография» мен «нанолитография» анықтамасы. Микро- и нанолитография түрлері. Фотолитографияның технологиялық процестері. Резистер. Фотошаблондар. Экспозиция. Фотолитография мүмкіндіктері. Қабілетті арттыру тәсілдері. УК саласындағы литография. Рентгенді және электрондық литография. Нанолитография. Нанолитографияның оптикалық әдістері. СЗМ көмегімен нанолитография. Нанобасылымды литография.
ӘДЕБИЕТ Ч.Пул, Ф. Оуэнс "Нанотехнологии". М.: 2004, 478 с.
Н. Кабояси. Введение в Нанотехнологию. перевод с японского А. Хачояна под ред. Патрикеева Л.Н.
Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления исследований. /Под ред. М.К. Роко, Р.С. Уильямса и П. Аливисатоса. Пер. с англ. – М.: Мир, 2002 – 292с., ил.
Губин С. П. Химия кластеров. Основы классификации и строение. М.: Наука, 1987, 263 с.
Петров Ю. И. Кластеры и малые частицы. М.: Наука, 1986, 367 с.
В. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии.
Дрекслер К.Э. Машины создания. Грядущая эра нанотехнологии.// http://filosof.historic.ru/books/item/f00/s00/z0000328.
Еленин Г.Г. Нанотехнологии, наноматериалы, наноустройства. // Новое в синергетике: Взгляд в третье тысячелетие. – М.: Наука, 2002. – 478с., ил.
Мандельброт Б. Фрактальная геометрия природы. – Москва: Институт компьютерных исследований, 2002, 656с.