.
№ 3 (137)
.
Январь 2017 г.
92
Технические науки
Работы по травлению глубоких канавок в кремнии с по-
мощью
Bosch
-процесса проводились на установке плаз-
менного травления с источником индуктивно связанной
плазмы. Для реализации технологии
Bosch
-процесса на
установке ПХТ были составлены рецепты для управля-
ющей программы травления по алгоритму. Значения па-
раметров из рецепта наиболее удачного эксперимента по-
казаны таблице 1.
Таблица
1.
Наименование и значения параметров рецепта для процесса Bosch-травления
Температура пластины, ˚С
20
Количество циклов
165
Переменные
Значение
Процесс травления № 1
ETCH1_TIME
Время травления, сек.
2
ETCH1_SF6_FLOW
Поток газа, см
3
/мин.
259
ETCH1_PRESSURE
Давление в камере, Па.
4
ETCH1_HF_POWER
Мощность нижнего электрода, Вт.
20
ETCH1_ICP_POWER
Мощность верхнего электрода, Вт.
1200
Процесс травления № 2
ETCH2_TIME
Время травления, сек.
2
ETCH2_SF6_FLOW
Поток газа, см
3
/мин.
259
ETCH2_PRESSURE
Давление в камере, Па.
4
ETCH2_HF_POWER
Мощность нижнего электрода, Вт.
15
ETCH2_ICP_POWER
Мощность верхнего электрода, Вт.
1200
Процесс окисления
DEP_TIME
Время травления, сек.
3
DEP_C4F8_FLOW
Поток газа, см
3
/мин.
150
DEP_PRESSURE
Давление в камере, Па.
3
DEP_HF_POWER
Мощность нижнего электрода, Вт.
15
DEP_ICP_POWER
Мощность верхнего электрода, Вт.
1200
Травление тестовых структур проводилось через
маску из Cr толщиной 0,1 мкм. Маска представляла
собой канавки шириной 20 и 8 мкм. Первые 40 циклов
производились с добавкой кислорода 15% O
2
к SF
6
. Глу-
бина после травления измерялась с помощью профило-
метра. Профиль контролировался с помощью микро-
скопа, рис. 1.
Таким образом, описана методика
Bosch
-процесса
травления, обеспечивающая заданный анизотропный
профиль стенок, при их наклоне равным 88 градусам.
Рис.
Достарыңызбен бөлісу: |
