176
Рис.3.39. Оптико-механическое МЭМС с поворотными микрозеркалами в виде трехмерного
маршрутизатора световых потоков фирмы Texas Instrument Inc [9]
Рис.3.40. Микромеханический подвес микрозеркала (типа качели) для матричного оптико-
механического дисплея фирмы Texas Instrument Inc. [9]
Достарыңызбен бөлісу: