Нанотехнологиялар
Фотолитография немесе литография - бұл микроэлектро
жүктеу/скачать 4,68 Mb. Pdf көрінісі
|
НАНОТЕХНОЛОГИЯЛАР
- Бұл бет үшін навигация:
- ТРАНЗИСТОРЛАРДЫҢ ТҮРЛЕРІ
- Жазық транзистор
| Фотолитография немесе литография - бұл микроэлектро
ника мен полиграфияда кеңінен қолданыс тапқан материалдың жұқа пленкасында сурет алу әдісі. Суретті алу үшін белгілі бір толқын ұзындыгы бар жарық пайдаланылады және бұл кездегі су рет бөлшектерінің минималды өлшемі толқын ұзындыгының жар ты шамасымен шектеледі. Иммерсионды литография Литографияның бұл түрінде барлық операциялар оптикалық жүйе мен табанша батырылған сұйықтық астында жүргізіледі. Мы салы, толқын ұзындығы 193 нм ультракүлгін жарықты иммерсион- ды литографияда аса таза газсыздандырылған (яғни, көпіршік жоқ) сұйықтық қолданылады. Иммерсионды литография фокус тереңдігін арттырады, соның салдарынан бұдан да күшті микропроцессорларға арналған электросхемалар алуға мүмкіндік туындайды. ТРАНЗИСТОРЛАРДЫҢ ТҮРЛЕРІ Транзистор бірнеше жартылай өткізгіш, мысалы, легирлеу үдерісінде кремний, галлий арсениді мен германий арсенидінің қоспасы қосылған материалдардан тұрады. п-типті жартылай өткізгіштерде қоспалар (мысалы, күшән) артық электрондарды және теріс зарядты туындатады, ал р-типті жартылай өткізгіштерде қоспалар (мысалы, бор) электрондардың жетіспеуі (тесіктер деп ата- латын) мен артық оң зарядтың себепкері болады. Жазық транзистор Мұндай п-р-п- транзистор екі п-типті жартылай өткізгіштен (эммитер мен коллектор) және араларында орналасқан р-типті тран- зистордан (база) тұрады. База мен эммитер арасындағы аз ғана тоқ эмиттер мен коллектор арасындағы тоқты біршама ұлғайтады. Тран зистор тоқты ұлғайтқышпен қатар, электрасызбаны басқарушы эле мент рөлін де атқаруы мүмкін (9.3- сурет). Шындығында, база мен эмиттер арасындағы кез-келген тоқ эмиттер мен коллектор арасындағы бөліктің кедергісін біршама төмендетеді. р-п-р- транзисторлар п-р-п- транзисторға сәйкес жасалынған. Алайда мұнда п-типті жартылай өткізгіш екі р-типті транзисторлар арасында орналасқан. 9.3- сурет. Жартылай өткізгіш материалдардың комбинациясын тран- зисторда электр тоғын қосуға/өшіруге қолдануға болады жүктеу/скачать 4,68 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|