Оттегінің қосылыстарын пайдалана отырып, суды зарарсыздандырудың ең таралған химиялық әдісі озонмен тазарту болып табылады. Озонмен тазарту технологиясының негізін қалаушы Франция болып табылады, ол 1997 жылы суды дайындауда озонды тиімді пайдаланудың жүзжылдығын атап өтті. АҚШ пен Жапонияда ауыз су мен өндірістік сарқынды суларды өңдеу кезінде Сl2 орнына тотықтырғыш ретінде О3 қолдану кеңінен тарап жатыр. АҚШ-та биохимиялық тазартқаннан кейін сарқынды суларды тазартқанға дейінгі құрылыстарда О3 қолдану кеңінен таралған. Озонда неғұрлым бактерицидті, вирулицидті және спороцидті әсері бар.