Егер электрлік разряд айнымалы токты тұтынатын болса, онда ол периодты түрде жанып өшіп отырады. Кезекті разрядтар арасындағы үзілістер кезінде газдың деионизациясы процессі жүреді де, плазма жоғалады. Жиіліктің өсуімен екі разряд арасындағы үзіліс азаяды да, деионизация уақытымен өлшенетін болады (10-3-10-5 с). Жиілікті ары қарай жоғарылатса, разряд өшіп үлгермейді. Мұндай разряд жоғары жиілікті деп аталады. Жоғары жиілікті разрядқа ауысу ондаған килогерцтен бірнеше мегагерцке дейінгі аралықта жүзеге асады. Жоғары жиілікті индукциялық (ЖЖИ) және жоғары жиілікті сыйымдылықты (ЖЖС) разрядтар маңызды болып табылады.
Егер электрлік разряд айнымалы токты тұтынатын болса, онда ол периодты түрде жанып өшіп отырады. Кезекті разрядтар арасындағы үзілістер кезінде газдың деионизациясы процессі жүреді де, плазма жоғалады. Жиіліктің өсуімен екі разряд арасындағы үзіліс азаяды да, деионизация уақытымен өлшенетін болады (10-3-10-5 с). Жиілікті ары қарай жоғарылатса, разряд өшіп үлгермейді. Мұндай разряд жоғары жиілікті деп аталады. Жоғары жиілікті разрядқа ауысу ондаған килогерцтен бірнеше мегагерцке дейінгі аралықта жүзеге асады. Жоғары жиілікті индукциялық (ЖЖИ) және жоғары жиілікті сыйымдылықты (ЖЖС) разрядтар маңызды болып табылады.
Н-типті ЖЖИ-разряд жоғары жиілікті магнит өрісінде пайда болады. Разрядтың пайда болу механизмі келесідей. Магнит өрісіндегі электронның траекториясы ларморлық шеңберлер бойынша айнала бастайды. Қисық сызықты траектория бойынша айнымалы магнит өрісі әсерімен қозғала отырып, ол энергиясы газ ионизациясына жеткілікті болғанға дейін үдей береді.Тұрақты плазмалық түзіліс пайда болады.
Е-типті ЖЖС-разрядта электр өрісі әсерімен салыстырмалы жеңіл электрондар өріс бойымен тербелмелі қозғалысқа келеді, ал ауыр иондар мен нейтрал бөлшектер тербелмелі қозғалысқа қатыспайды деуге болады. Электр өрісіндегі үдетілген электрондар газ бөлшектерімен соқтығысып оны иондайды. Электродтарға түсірілген тез ауыспалы потенциалдар айырымының амплитудасының белгілі бір мәнінде разряд пайда болады.
Е-типті ЖЖС-разрядта электр өрісі әсерімен салыстырмалы жеңіл электрондар өріс бойымен тербелмелі қозғалысқа келеді, ал ауыр иондар мен нейтрал бөлшектер тербелмелі қозғалысқа қатыспайды деуге болады. Электр өрісіндегі үдетілген электрондар газ бөлшектерімен соқтығысып оны иондайды. Электродтарға түсірілген тез ауыспалы потенциалдар айырымының амплитудасының белгілі бір мәнінде разряд пайда болады.
Е-типті разрядтар бірнеше ватт қуаттың өзінде-ақ қоздырылуы мүмкін. Н-типті разрядты қоздыру үшін, индукциясы аз магнит өрісі электрондардың үдеуін қажет деңгейде қамтамасыз етпейтіндіктен, бірнеше киловатт қуат керек.
Жиілікті одан ары жоғарылату кезінде 1-3 ГГц-ке дейін плазма қасиеттерінің өзгерісі байқалады: ол тепе-теңсіздік плазмаға айналады. 1-3 ГГц жиілікте пайда болатын разряд аса жоғары жиілікті (АЖЖ) деп аталады. Тепе-теңсіздік эффектісі АЖЖ-разрядтағы электрондар мен иондар температурасы айырмашылығы тұрақты болып қалатынында негізделген және атмосфералық қысымда бірнеше мың градусты құрауы мүмкін.
