35.Перечислите контролируемые параметры чистого помещения.
Воздухообмен: 300крат/час,
воздушный поток: однонаправленный,
фильтрация воздуха: финишные НЕРА-фильтры с эффективностью 99,9999% по частицам 0,12мкм,
обработка воздуха: крышные кондиционеры наружного воздуха, рециркуляционные производительностью по 425м3/мин, расположенные внутри здания,
давление воздуха: перепад давления +0,5Па относительно прилегающего коридора,
температура: изменение в течение 4 часов не должно превышать 1,5оС,
влажность: относительная влажность 45% +- 5% изменение в течение 4 часов не должно превышать +-3%,
выбросы: кислотные после скруббера, разбавленные органические пары, общеобменные и тепловые,
вибрация и шум: NC-55, менее 120мкм/сек от пика к пику, 0-15Гц,
магнитный поток: максимум 1,5Гс,
электростатический заряд: максимум 3мДж*107/м2,
энергопотребление: 21100мДж/м3/год (работа 24 часа в день/7дней в неделю/365 дней в год), форма,
функция площадка: площадь пола 3000м2. Пролетно-каркасное здание, технический этаж, фальшпол, офис, частицы: частиц/м3 размером 0,5мм<3500; размером 0,12мм<12000,
технологические трубопроводы: деинонизованная вода – чистый трубопровод из поливинилиденфторида (ПВДФ), сверхчистые газы, сверхчистые химикаты, электрохимполированные трубы, трубы из бесшовной нержавеющей стали 3161 L,
ожидаемая стоимость: 2185,1-3907,4 долл.м2,
освещение: 27-38Вт/м2,
вентиляция: 97-108Вт/м2,
лабораторное оборудование: 43-86Вт/м2
36.Виды квалификационной документации. Дать характеристику каждому виду документации.
Все квалификационные действия должны быть задокументированы в письменной форме, иначе они не будут воспроизводимы.
Квалификационная документация состоит из:
|
