Лекции по наноматериалам и нанотехнологиям
жүктеу/скачать 12,63 Mb. Pdf көрінісі
|
Nanomateriali i nanotehnologii bak
| 2.8.4. Импринт – литография
(нанопечатная литография) Технология основана на прессовании резиста с последующим переносом рисунка на пластину полупроводника. Изображение в слое резиста создается физической деформацией резиста. Роль шаблона играет пресс - форма. См. рис. 2.12. Рис. 2.12. вверху: Этапы нанесения рисунка на резист. внизу: Электронные фотографии отверстий в резисте: после напыления. [6] 1.На подложке 1 при помощи центрифуги создается плоскопараллельный слой резиста 2. 2.Композиция нагревается до температуры размягчения отвержденного резиста. Штамп 3 вдавливается в слой резиста, который заполняет углубления на штампе. 3.Система охлаждается до температуры ниже затвердевания резиста, и штамп поднимается. Возникновение на резисте выступов соответствует углублениям штампа. В местах, где были выступы штампа, остается слой резиста толщиной 10-20 нм. 4.Удаляется остаточный слой резиста ионным тралением. В окнах резиста 5 114 поверхность подложки оказывается открытой. Через окна в резите можно производить травление подложки, напыление металла и ли ионная имплантация, после чего резист удаляется. Время одного цикла 10-15 минут. Например, после импринтинга и напыления полоски металла имеют гладкость и острые углы, что недостижимо при традиционных методах. В качестве резистов используются органические термопластические материалы. ПММА, полистерен. Материалом для штампов используют кремний или слой оксида кремния 2 SiO на кремниевой подложке. Для рисунков с деталями 10-20 нм применяют металлические штампы, изготовленные с помощью электронно- лучевой литографией с последующим напылением металла на подложку в отверстия резита. Ширина линий от 10 нм, до нескольких мкм. Высота от 50 нм до сотен нм. Этим методом можно получать структуры с размерами до10 нм. Детали диаметром 10 нм на расстоянии 10 нм дают плотность записи 0,15 Тбит/см 2 . На рис. 2.13 приведена электронная микрофотография полосок металла после импринтинга и напыления. Для полос характерны острые углы и гладкость. Рис. 2.13. Электронная фотография полосок металла (белые) после импринтинга и напыления. Ширина полос-70 нм, высота-200 нм. [6] жүктеу/скачать 12,63 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|