116
Рис. 2.15. а) Принципиальная схема сканирующего туннельного микроскопа (СТМ). [6]
1-металлический зонд. 2- образец, 3-трехкоординатный поверхностный стол, 4-
трехкоординатный пьезодвигатель.5-компьютерная система. 6-система обратной связи.
,
,
x
y
z
P P P
-пьезоэлементы,
,
,
x
y
z
U U U
-управляющие напряжения.
T
J
-туннельный ток.,
T
U
-
туннельное напряжение. б) схема движения зонда вдоль оси
x
при работе СТМ в режиме
постоянного тока.
Металлический зонд 1 перемещается по трем направлениям относительно
поверхности образца. Перед началом измерения с помощью трехкоординатного
подвижного стола 3 производится грубое позиционирование зонда. Диапазон
перемещений стола по трем направления составляет несколько сантиметров,
точность позиционирования 0,1-1 мкм. Посредством перемещения стола
исследуемый участок образца подводится к зонду на расстояние
0,1
мкм
.
Тонкое сканирование и прецизионное вертикальное перемещение зонда
осуществляется трехкоординатным пьезодвигателем 4. Пьезодвигатель состоит
из трех пьезоэлементов
,
,
Достарыңызбен бөлісу: