Электрогидравликалық өңдеу (негізінен қалыптау). Сұйық диэлектрикада қуатты электр (ұшқын) разрядында гидравликалық соққы энергиясын пайдалануға негізделген (сурет. 8). Бұл ретте дайындау мен матрицаның арасындағы қуысты вакуумдау қажет, өйткені дайындаманың матрицаға қозғалуының үлкен жылдамдығына байланысты ауа қуыстан кетуге үлгермейді және дайындаманың матрицаға тығыз араласуына кедергі жасайды. Бұл әдіс қарапайым, сенімді, бірақ аз пәк бар, жоғары электр кернеулерін талап етеді және ұдайы қайталанатын нәтижелер бермейді.
Электромеханикалық өңдеуге ультрадыбыстық өңдеу жатады.
Сәулемен өңдеу. Сәулелік өңдеу әдістеріне материалдарды электрондық шоғырмен және жарық сәулелерімен өңдеу жатады (лазерлік технологияны қараңыз). Электронды сәулелі өңдеу жоғары энергия электрондарының ағынымен жүзеге асырылады (100 кэв дейін). Мұндай жолмен барлық белгілі материалдарды өңдеуге болады (қазіргі заманғы электрондық оптика электронды бумаларды өте аз алаңда шоғырландыруға, өңдеу аймағында қуатты үлкен тығыздықты құруға мүмкіндік береді). Электронды сәулелі станоктар кесуді (оның ішінде тесіктерді тігу) және үлкен дәлдікпен (50-ге дейін) дәнекерлеуді орындай алады. Электронды сәулелі станоктың негізі-электронды зеңбірек. Станоктарда сондай-ақ өңдеу режимін бақылау құрылғысы, дайындаманың орнын ауыстыру, вакуумдық жабдық болады. Салыстырмалы жоғары құнына, өнімділігі аз, техникалық күрделілігіне байланысты станоктар негізінен микроэлектроникада прецизионды жұмыстарды орындау, Шағын (5 мкм дейін) диаметрлі тесіктері бар фильерлер дайындау, аса таза материалдармен жұмыс істеу үшін пайдаланылады.
Өңдеудің электрофизикалық әдістеріне плазмалық өңдеу жатады.
Достарыңызбен бөлісу: |