Отчет по лабораторной работе на тему обработка изображения атомно-силовой микроскопии по дисциплине «Современные инструменты контроля высокотехнологичного производства»



бет3/4
Дата02.10.2023
өлшемі0,54 Mb.
#183398
түріОтчет
1   2   3   4
Байланысты:
Обработка образца CdS

Практическая часть


В качестве исследуемого образца был взят монокристалл CdS до обработки изопропиловым спиртом. Размер скана составил 50х50 мкм. Изображение образца представлено на рисунке 2.

Рисунок 2 - Монокристалл CdS до обработки изопропиловым спиртом
В программе для обработки АСМ изображений Gwyddion с помощью инструмента «Рассчитать одномерные статистические функции» получаем распределение высот данного скана. Экспортом данных строим график распределения высот в программе Origin, представленный на рисунке 3.

Рисунок 3 - Распределение высот образца CdS до обработки изображения
Как можно видеть на рисунке 2 на данном скане присутствует множество различных шумов, наклон.
Помимо этого, присутствуют различные шумы на скане, царапины, также в нижней части скана есть ярко выраженные выделяющиеся полосы.
Для устранения данных артефактов применяются следующие действия, реализуемые в программе Gwyddion:

  • Вычитание средней плоскости (для того, чтобы убрать наклон);

  • Убрать полиномиальный фон;

  • Выровнять строки используя различные методы;

  • Двумерная фильтрация Фурье осуществляется с помощью: обработка данных – исправить данные – двумерная фильтрация БПФ;

  • Для того, чтобы убрать мелкие артефакты, использовался инструмент интерполировать небольшие дефекты, выбранные вручную.

После обработки с помощью данных операций получили изображение, представленное на рисунке 4.

Рисунок 4 – Изображение CdS после обработки в программе Gwyddion
На рисунке 5 представлены статистические величины данного изображения. На рисунке 6 представлена 3D изображение данного скана.

Рисунок 5 – Статистические величины обработанного изображения CdS

Рисунок 6 – 3D изображение скана CdS после обработки в программе
На рисунке 7 представлено распределение высот скана после обработки в программе Gwyddion.

Рисунок 7 – Распределение высот CdS
На рисунке 8 можем видеть профиль образца. На нем можно видеть неровности. С помощью измерения расстояний на графике получаем, что размеры неровностей составляют около 400 – 430 нм.

Рисунок 8 – Профиль образца CdS



Достарыңызбен бөлісу:
1   2   3   4




©engime.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет