Эпитаксиалды процестердің үш тобы белгілі: авто-, гетеро-гемоэпитаксия.
Эпитаксиалды процестердің үш тобы белгілі: авто-, гетеро-гемоэпитаксия.
Авто эпитаксия - бұл грек автомобильінің кристалдық өсімге бағдарланған өсуіне негізделген субстрат құрылымымен айтарлықтай сәйкес келетін процесс.
Heteroepitaxy (грек «текті» деген - басқа) - субстрат материалды құрамын, олардың өзара іс-қимыл кезінде орын алған орнын ажырата бағдарланған өсу заттардың процесс болып табылады.
Гемоэпитакси - субстанциядағы субстанция зат өсуге бағытталған процестің жаңа фазасын қалыптастырумен химиялық өзара әрекеттесу кезінде қоршаған ортаға түседі. Алынған химиялық-эпитаксиалды қабат субстрат затынан және оның затынан ерекшеленеді.
