СущностьНасыщение поверхности обрабатываемых деталей азотом (азотирование), углеродом (карбонизация), бором (борирование), кадмием (кадмирование) или несколькими элементами одновременно (карбоазотирование). При обработке детали погружаются в плазму тлеющего разряда, горящего между катодом (деталями) и анодом (стенками вакуумной камеры) и содержащего необходимый элемент. Наиболее востребован процесс плазменного азотирования (азотирование в тлеющем разряде, ионно-плазменное азотирование).
Назначение Увеличение износостойкости и коррозионной стойкости деталей.
Выбор Определяется заданной глубиной насыщающего элемента в объеме детали под действием термически активируемой диффузии, скорость которой зависит от температуры обработки и градиента насыщающего элемента. Перспективным направлением дополнительного повышения износостойкости деталей, обработанных с использованием плазменного азотирования, является последующее нанесение тонкопленочных трибологических покрытий с использованием PVD и CVD процессов.
