Плазмохимическая технология по получению и снятию пленок и покрытий
С помощью плазмы можно получать и снимать как неорганические, так и органические пленки, что
широко используется в различных отраслях промышленности, науки и техники.
Так, например, плазменные методы осаждения и травления пленок широко используются в микроэлектронике при изготовлении элементов тонкопленочных интегральных схем.
Плазменные методы обработки при производстве элементов электронной техники используют сравнительно дешевые газообразные реагенты, имеют высокую производительность и легко поддаются автоматизации
