Применения в атомной эмиссионной спектрометрии (ИСП-АЭС, англ. ICP-AES) в масс-спектрометрии: ИСП-МС, (англ. ICP-MS) в плазменном травлении (англ. ICP-RIE)

Применения в атомной эмиссионной спектрометрии (ИСП-АЭС, англ. ICP-AES) в масс-спектрометрии: ИСП-МС, (англ. ICP-MS) в плазменном травлении (англ. ICP-RIE)

Индуктивно-связанная плазма в масс-спектрометрии - Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой (ИСП-МС) — это разновидность масс-спектрометрии, отличающаяся высокой чувствительностью и способностью определять ряд металлов и несколько неметаллов в концентрациях, не превышающих 10 ^{- 10}%, т.e. одну частицу на 10¹². Англоязычное название этого метода: aнгл. Inductively coupled plasma mass spectrometry. Метод основан на использовании индуктивно-связанной плазмы в качестве источника ионов и масс-спектрометра для их разделения и детектирования. ИСП-МС также позволяет следить за изотопным распределением выбранного иона.

Сущность метода - Индуктивно-связанная плазма (ИСП): Плазма - это газ, содержащий существенные концентрации ионов и электронов, что делает его электропроводным. Плазма, используемая в электрохимическом анализе, практически электронейтральна из-за того, что положительный ионный заряд компенсируется отрицательным зарядом свободных электронов. В такой плазме положительно заряженные ионы преимущественно однозарядны, а число отрицательно заряженных очень невелико, и таким образом, в любом объёме плазмы число ионов и электронов примерно одинаково.

Детектор - Масс-спектрометр: Ионы из плазмы через серию конусов попадают в масс-спектрометр, обычно квадрупольный. Ионы разделяются на основании отношения массы к заряду, и детектор получает сигнал, пропорциональный концентрации частиц с таким соотношением.