өлшемді құрылымы туралы көз алдымызға елестетуге мүмкіндік
береді. Қорытынды көрініс зерттелетін нысан бетінің көп жерлерін
сканирлеу нәтижесінде алынған нүктелерді қосу арқылы алынады.
4.1-суретте СЭМ-нің бірнеше негізгі компоненттері көрсетілген.
СЭМ 10-нан 100000-ға дейін ұлғайтуды қамтамасыз етеді, ол
5-10 нм шамасына дейін нысан тетігін қарастыруға мүмкіндік береді.
Көптеген заманауи аса қуатты құралдар нысанды 1 нм-ге жуық бөле
отырып,
1000000
есеге дейін үлкейтуге қабілетті.
Достарыңызбен бөлісу: