Өлшеу қателіктері - өлшеу кезінде алынған X мәні мен өлшенген шаманың Q нақты мәнінің айырмасы. Өлшеу қателігі ∆=Х-Q өрнекпен анықталады. Өлшеу қателіктері, өлшеу әдістерімен кұралдарының жетілмегендігінен, бақылау шартының тұрақсыздығынан, бақылаушы тәжірибесінің жетіспеуінен және оның сезім органдарының ерекшеліктерінен құралады.
Өлшеу дәлдігі - нәтижелері өлшенетін шаманың нақты мәнге жуықтығын көрсететін өлшеу көрсеткіштері. Дәлдікті сан ретінде ықтималды қателіктің модуліне кері шамамен көрсетуге болады.
Өлшеу дұрыстығы - нәтижелердің жүйелік қателіктерінің нөлге жуықтығын көрсететін (шаманы қайталап өлшегенде бірқалыпты қалатын немесе бір заңдылыққа сүйеніп өзгеріп отыратын қателіктер) өлшеудің сапасы ретінде анықталады. Өлшеудің дұрыстығы, өлшеу жүргізілген бірліктің нақты өлшемі оның шын өлшемінен (анықтама бойынша) айрықшылығына байланысты, атап айтқанда, осы өлшеу түріне алынған өлшеу құралдарының таңдалу дәрежесіне байланысты. Өлшеу сапасының маңызды бір көрсеткіші оның ақиқаттығы; ол өлшем нәтижесіне сенімдiлiкті сипаттайды және оларды екі категорияға бөледі: сәйкес шамалардың шын мәнінен ауытқуының ықтималды сипаттамаларының белгілі немесе белгісіздігіне байланысты ақиқатты және ақиқат емес. Акиқаттығы расталмаған өлшеу нәтижелерімен бағаланбайды.
Өлшеу құралы - нормаланған метрологиялық сипаттамалы, өлшеуге арналған техникалық құралы.
