Тлеющий разряд
жүктеу/скачать 0,69 Mb. Pdf көрінісі
|
Bolbukov-avtoreferat FIN(1)
- Бұл бет үшін навигация:
- На защиту выносятся следующие научные положения
- Достоверность и обоснованность результатов работы
| Личный вклад автора
. Автор внес определяющий вклад в разработку и наладку экспериментальных моделей источников металлического пара и быстрых молекул, в проведение экспериментов и анализ полученных результатов. На защиту выносятся следующие научные положения: 1. Плазменная эмиссионная система на базе тлеющего разряда с бипотенциальным полым катодом и эмиссионным сеточным электродом, изготовленными из металла, вхо- дящего в состав наносимого покрытия, позволяет формировать смешанные потоки, со- стоящие из распыляемых атомов металла и быстрых атомов плазмообразующего газа, с возможностью независимого регулирования состава потока и энергии быстрых атомов. 2. Импульсно-периодическая бомбардировка осаждаемого покрытия быстрыми нейтральными атомами с энергией 1 кэВ и выше позволяет увеличить адгезию наноси- мого покрытия не менее чем в 4 раза по сравнению с непрерывной бомбардировкой атомами с энергией 100 эВ. 3. Использование эффекта рассеяния частиц формируемого потока по углам, по- зволяет повысить равномерность плотности потока в поперечном направлении путем 6 установки на оси потока поглощающего экрана, диаметр которого должен быть равен 35–40 % от диаметра потока. 4. Подбор конфигурации силовых линий и напряженности магнитного поля в об- ласти распыляемой мишени (дно полого катода) формирует область замкнутого азиму- тального дрейфа электронов, что позволяет: - получить равномерную скорость распыления материала мишени на 85% площади, подвергаемой бомбардировке ионами; - снизить рабочее давление в системе в 4 раза (до 0,1 Па); - увеличить до 50 % и более долю ионов, распыляющих мишень, от общего числа ионов, образованных в объеме полого катода. Достоверность и обоснованность результатов работы базируется на систе- матическом характере исследований, использовании независимых экспериментальных методик, на практической реализации научных положений и выводов при разработке источников металлического пара и ускоренных частиц, а также на результатах примене- ния этих источников в технологических экспериментах. жүктеу/скачать 0,69 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|