| 1.23-сурет. Электронды-сәулелі литография әдісімен кванттық сымда немесе нүктелердің түзілу сатылары: (а) - Бастапқы қорғауыш қабатпен капталған табақшадағы кванттық шұңқыр; (б) - үлгіні маска арқылы сәулелендіру; (в) - радиациялық-сезімтал қорғауыш қабаттың сәулеленген бөлігін айқындауышпен еріткеннен кейінгі конфигурациясы; (г)- келесі өңдеу жүргізуге арналған маска жасау; (д) - сезімтал қорғауыш қабатты жойғаннан кейінгі күй; (е) - кванттык материал бөліктерін бұзғаннан кейінгі күй; (ж) - наноқұрылымның соңғы күйі
Литография көмегімен 1.22 6-суретте көрсетілген кванттық сымдар мен нүктелерден күрделі кванттық құрылымдар алуға болады. Мысалы, 1.24-суретте келтірілген көпқабатты кванттық шұңқырлардан бастауға болады.
Достарыңызбен бөлісу: |
