7. Растрлік электрондық микроскопия Растрлік электронды микроскопияны (РЭМ) сканерлеу, құрған сурет электронды-сәуленің қатты бетінің үстінде сканерленеді.
Растрлік электронды микроскопия әдісінде энергетикалық және электрондардың кеңістікте таралуы, электронды орам мақсаты әсерінен материал үлгісінің беттік қабытынан эмитирленуі. Беттер құрамы суреттерін жасау үшін растрлік электронды микроскоп бетінде шашыраңқы орам электрондары тіркеледі (серпімді шашырыңқы және серпімсіз шашыраңқы) және екінші реттік электрондар (1- сурет).
Үш негізгі аймақты атап өтуге болады: шынайы екінші реттік электрондар, серпімсіз бейне электрондары, серпімді бейне электрондары бірінші реттік электрондардың ядроның электрлік өрісі пайда болады. Шынайы екінші реттік электрондар 50 эВ аспайтын энергияға ие, көбінесе олардың энергиясы 3–5 эВ. Бұл потенциалдық барьерге төтеп бере алатын, ең талдаулық материалдың электрондары, шекарасы қатты дене вакуум. Осыған қажетті энергияны электрондар түйінінің соғысынан алады.
1 – сурет - Екінші ретті электрондардың энергетикалық спектрі: 1 –баяу екінші ретті электрондар (шынайы екіншіретті электрондар); 2 –серпімсіз шыныққан бірінші ретті электрондар; 3 – серпімді шыныққан бірінші ретті электрондар
Материал құрылымын зерттеу кезінде растрлік электронды микроскопия әдісін қолдану. Растрлік электронды микроскопта материалдарды зерттеу кезінде үлгінің 20– 45о(градус) шамасында көлбеулік бұрышын таңдау дұрыс болады, бұл максималды рұқсат етуді төмендетеді, бірақ зерттеудің басты этапында материалдың толық құрылымы туралы (жұқа қабықтардың, талшықты құрылымын, жаппай беті бойынша элементтердің біртексіз таралуы) ақпарат алу маңыздырақ болады. Беттің рельефін зерттеу үшін стереосъемка кезінде бетті суретке түсірген және бақылаған дұрыс. Растрлік электронды микроскопты екі экранмен және стереоауыстырғышпен жабдықтайды, ал фотоға түсіру көлбеуліктің екі бұрышымен ерекшеленеді, көбіне 6 –8о немесе 12о –қа ғана айрықша болады. Стереоауыстырғыш арқылы алынған суретті қарастыра отырып, беттің зерттелетін фрагментін көлемдік қарастырады. Көбіне стереоскопия беттің күрделі рельефін дұрыс интерпретациялаудың жалғыз әдісі болып табылады.Растрлік электронды микроскоптағы жоғары рұқсат етілу шегінің арқасында оптикалық микроскопта айыра алмайтын ұсақдисперсті құрылымды зерттеуге болады.
Достарыңызбен бөлісу: |