1 Қазақстан республикасы білім және ғылым министрлігі

«ІЛИЯС МҰРАСЫ ЖӘНЕ АЛАШТАНУ МӘСЕЛЕЛЕРІ»

жүктеу/скачать 1,97 Mb.

Pdf көрінісі

бет	171/176
Дата	31.08.2023
өлшемі	1,97 Mb.
	#180044

1 ... 168 169 170 171 172 173 174 175 176

Байланысты:
2-2018

«ІЛИЯС МҰРАСЫ ЖӘНЕ АЛАШТАНУ МӘСЕЛЕЛЕРІ»
атты республикалық ғылыми-тәжірибелік студент жастар конференциясының материалдары

163
3-сурет 4-сурет
Қабықшаның элементтік талдауы және қалыңдығы SEM Quanta 3D 200i EDAX
analysis электрондық микроскопында жасалды. Қабықша қалыңдығы 350нм (3-сурет),
қабықша құрамында 65%Siжәне 35%C (4-сурет). Спектр бойынша кремний мен көміртек Si-
C байланысының басым екендігін рентген сәулелерінің өте кіші бұрышта θ=180301
шашырауынан көреміз .
Көмipтeк легірленгeн aмopфты кpeмний қоcпaлapының қaншacы қaбықшa құpaмынa
кipeтiндiгi жөнiндe мәлiмeт aлу зepттeудiң нeгiзгi мәceлeci бoлып тaбылaды. Бeлгiлi шaмaдa
көмipтeк
легірленгeн
aмopфты
кpeмний
қaбықшaлapын
aлу
көмipтeгiнiң
концeнтpaцияcының шeктeлгeн aумaқтapындa icкe acaды. Coнымeн қaтap, қaбықшaлapдың
қacиeттepi олapды aлудa қoлдaнылaтын кaмepaлapдың құpылыcынa, төceнiштiң
тeмпepaтуpacы мeн оpнaлacу opнынa, ыдыpaйтын гaздapдың aғынынa, кaмepaдaғы қыcымғa
тiкeлeй бaйлaныcты.

ӘДЕБИЕТТЕР:
1.
Тауасаров Қ. Легирование аморфного кремния из газовой фазы. «Современные
достижения физики и фундаментальное физическое образование», 1-3 октября КазНУ
им.аль-Фараби, 2011г, Алматы, стр. 92.
2.
О.Ю. Приходько, Н.К. Манабаев К. Даутхан Оптические и структурные свойства
пленок a-Si:C:H, «Актуальные проблемы современной физики» 15-16 марта 2013г. Алматы,
стр. 13.

«ІЛИЯС МҰРАСЫ ЖӘНЕ АЛАШТАНУ МӘСЕЛЕЛЕРІ»
атты республикалық ғылыми-тәжірибелік студент жастар конференциясының материалдары

164
МАЗМҰНЫ
СОДЕРЖАНИЕ

Баймырзаев Қ.М.
АЛҒЫ СӨЗ.........................................................................................................................
3

жүктеу/скачать 1,97 Mb.

Достарыңызбен бөлісу:

1 ... 168 169 170 171 172 173 174 175 176