Научно-методический журнал Серия: Естественно-технические науки. Социальные и экономические науки. Филологические науки
жүктеу/скачать 4,81 Mb. Pdf көрінісі
|
2-сан 2023 (1-серия)
| Tajriba natijalari.
Kristall panjara bo‗shliqlari orqali diffuziyani amalga oshirish mumkin bo‗lgan usullardan biri past haroratli va bosqichli diffuziyani amalga oshirishdir. Past haroratli diffuziya deganda shunday diffuziya jarayonini tushunish kerakki, bunda kristall panjara tugunlaridagi bo‗sh o‗rinlarining termik muvozanat konsentratsiyasi (Nv) panjara ichiga kiritilgan kirishma atomlari kontsentratsiyasi (N) dan sezilarli darajada kam bo‗lishi kerak. Boshqacha qilib aytganda, kristall panjara tugunlari bo‗sh o‗rinlaridagi yoki komplekslardagi kirishma atomlarining kontsentratsiyasi (NS) kristall panjara oraliqlaridagi kirishma atomlari kontsentratsiyasi (Ni) dan sezilarli darajada kam bo‗lishi kerakligini anglatadi. Boshqa tomondan, kirishma atomlarining kristall panjara oraliqlaridagi mavjud potensial to‗siqni yengib o‗tib, bir oraliq holatdan ikkinchisiga o‗tishi uchun diffuziya harorati, ya‘ni diffuziyani faollashtirish energiyasi Ea yetarli bo‗lishi kerak. Marganets atomlarining kremniyga past haroratli diffuziyasi sharoitida nafaqat sirtda eroziya va sirt yuzasiga yaqin qatlamlarda silitsidlar hosil bo‗lmaydi, balki kremniyga kiritilayotgan kirishma atomlarining kerakli konsentratsiyasini istalgan chuqurlikda bir xil qilib olish mumkin. Past haroratli diffuziya sharoitida olingan T=300K da Fermi sathi EF=EV+(0,38 0,45) eV energiya oralig‗ida bo‗lgan p-Si natijalari shuni ko‗rsatadiki(1 - rasm), bu namunalarda tarkibida to‗rtta marganets atomi mavjud nanoklasterlarga xos bo‗lgan 21 chiziqdan iborat EPR spektrlari aniq kuzatiladi [8, 9]. 1-rasm. Kremniydagi tarkibida 4ta marganets atomi mavjud nanoklaster [Mn++]4 ga xos bo‗lgan 21 chiziqdan iborat EPR spektri. 2-rasm. Kremniydagi nanoklaster hosil qilmagan Mn++ marganets atomlarining EPR spektri. 1-rasm. Kremniydagi tarkibida 4ta marganets atomi mavjud nanoklaster [Mn ++ ] 4 ga xos bo„lgan 21 chiziqdan iborat EPR spektri. 2-rasm. Kremniydagi nanoklaster hosil qilmagan Mn ++ marganets atomlarining EPR spektri. Yangi texnologiya bilan olingan marganets atomlarining nanoklasterlari kuzatilgan namunalardagi kabi bir xil |