Өлшеу микроскоптары. 3 координат бойынша контактсіз өлшеуге
тағайындалған оптикалық құралдар. Өлшеу объектісін АБ (
5.8-сурет )
конденсаторы К бар ИС жарық көзі мен объективтің ОБ арасына
орналастырады. Жарық ағыны объективтен өте отырып, кері ұлғаюды және
экранда Э көрінетін нақты көріністі А
1
Б
1
береді. Окулярды ОК пайдалану
арқылы кері және өте үлкейтілген көріністі А
2
Б
2
алады. Бұл аспаптардың өлшеу
қателігі 0,3 мкм-ге дейін.
5.3 Пневматикалық өлшеу құралдары Өлшеу ақпарттарының түрлендірілуі ауа магистралінде қысылған ауаның
параметрлерін, яғни оның үлкен емес тесіктен өтуі кезінде өлшеу арқылы
жүзеге асырылады.
