141
және горизонталды (273 модель) өлшеулерге арналған түрлері шығарылады.
Контактілі интерферометрлерде 0,05-тен 0,2 мкм-ге дейінгі ауыспалы
бөліну бағасы бар және Майкельсон сұлбасы бойынша жұмыс істейді. Жарық
жарық көзінен (2,
5.7-сурет
) конденсатор (3) және фильтр (4) арқылы жартылай
мөлдір бөлгіш пластинаға (5) түседі, сол жақтан өлшеу тілшесі бар пинолға
бекітілген айнаға (8) сәулелердің бір бөлігі түседі, ал басқа бір бөлігі пластина
(6) арқылы индикаторлы айнаға (1) түседі.
1
6
2
3
4
7
5
8
Достарыңызбен бөлісу: 
