Тлеющий разряд
ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ
жүктеу/скачать 0,69 Mb. Pdf көрінісі
|
Bolbukov-avtoreferat FIN(1)
| ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ
Актуальность темы . Синтез на поверхности изделий износостойких покрытий существенно повышает их качество и срок эксплуатации. Свойства покрытий зависят от физических условий их синтеза. Необходимые для синтеза покрытий атомы получают путем испарения мишени электронным пучком, катодными пятнами вакуумной дуги или ее распыления ионами. Из-за столкновений с молекулами газа атомы металла рассеиваются, и с ростом давле- ния плотность их потока на поверхность изделия уменьшается. Эффективность транс- портировки атомов от мишени до удаленного на 0,1 м изделия начинает снижаться при давлении 0,5 Па и выше. Поэтому для ионно-плазменной обработки нужны источники атомов металла и ускоренных частиц, функционирующие при давлении p ~ 0,1 Па. Установлено, что в разряде с полым катодом p можно снизить до 0,01 Па при огра- ничении ухода из него быстрых электронов. Это позволило создать источники широких пучков быстрых молекул с единственной эмиссионной сеткой. Катодное падение потен- циала разряда ~ 300 В легко повысить до 1 кВ и более, и тогда распыляемый ионами по- лый катод заполняется металлическим паром, поступающим через сетку в камеру. Из- меняя энергию вылетающих через эту же сетку ионов, можно регулировать физические условия синтеза покрытий и их свойства. В связи с этим генерация на основе этого раз- ряда смешанных потоков медленных атомов металла и быстрых молекул газа представ- ляется актуальной задачей. Большой срок службы генераторов плазмы на основе разряда с холодным полым катодом, простота их конструкции и низкая себестоимость стали обоснованием эконо- мической целесообразности и актуальности исследований источников совмещенных потоков атомов металла и быстрых молекул газа на основе этого разряда, выполняв- шихся в настоящей диссертационной работе в рамках аналитической ведомственной целевой Программы «Развитие научного потенциала высшей школы» на 2009–2011 го- ды и федеральных целевых научно-технических программ «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России» на 2007–2013 годы, «Национальная технологическая база» на 2007–2011 годы, «Науч- ные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009 – 2013 годы. жүктеу/скачать 0,69 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|