Тлеющий разряд



Pdf көрінісі
бет14/15
Дата01.12.2022
өлшемі0,69 Mb.
#160807
түріАвтореферат
1   ...   7   8   9   10   11   12   13   14   15
Байланысты:
Bolbukov-avtoreferat FIN(1)

Bolbukov

V.
A source of metal vapor and pulsed beams of high-energy gas mole-
cules / A. Metel, V. Bolbukov, M. Volosova, S. Grigoriev, Yu. Melnik. // Bulletin of the 
American Physical Society. – Princeton, New Jersey, USA – 2013. V. 58. P.110–111. 
13. 
Болбуков, В.П.
Источник металлического пара и быстрых молекул газа для 
синтеза покрытий на диэлектрических изделиях сложной геометрической формы / А.С. 
Метель, В.П. Болбуков, М.А. Волосова, С.Н. Григорьев, Ю.А. Мельник // Труды 11-й 
международной конференции «Плѐнки и покрытия–2013», – Санкт-Петербург, – 2013г., 
С. 203–205. 
14. 
Болбуков, В.П.
Осаждение тонких плѐнок с ассистированием пучком без по-
терь материала мишени / А.С. Метель, В.П. Болбуков, М.А. Волосова, С.Н. Григорьев, 
Ю.А. Мельник // Труды 11-й международной конференции «Плѐнки и покрытия – 
2013», – Санкт-Петербург, – 2013г., С. 206-208. 
15. 
Болбуков, В.П.
Исследование источников смешанного потока металлического 
пара и быстрых молекул газа для обработки сложных геометрических изделий / В.П. 


18 
Болбуков // Материалы II международной заочной конференции «Инновационные мате-
риалы и технологии в машиностроительном производстве», – Орск. – 2013

С. 68-69. 
16. 
Bolbukov, V.
Deposition of thin films using a source of metal vapor mixed with fast 
argon atoms / V. Bolbukov, A.
 
Metel // Материалы II Всероссийской научно-техническая 
конференции молодых ученых, аспирантов и студентов с международным участием 
«Высокие технологии в современной науке и технике», – Томск. – 2013. С.10-14. 
17. 
Болбуков, В.П.
Осаждение тонких плѐнок с помощью источника металличе-
ского пара и быстрых атомов аргона / В.П. Болбуков // Материалы 51-й Международной 
научной студенческой конференции «Студент и научно-технический прогресс»: Физика 
сплошных сред, – Новосибирск, – 2013 г., С. 73. 
18. 


Достарыңызбен бөлісу:
1   ...   7   8   9   10   11   12   13   14   15




©engime.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет