Тлеющий разряд

Рекомендации по дальнейшей разработке темы и применению результатов

жүктеу/скачать 0,69 Mb.

Pdf көрінісі

бет	12/15
Дата	01.12.2022
өлшемі	0,69 Mb.
	#160807
түрі	Автореферат

1 ... 7 8 9 10 11 12 13 14 15

Байланысты:
Bolbukov-avtoreferat FIN(1)

Рекомендации по дальнейшей разработке темы и применению результатов
работы
.
Результаты исследования планируется использовать при разработке установки для
синтеза сверхтвердых наноструктурных покрытий на изделиях из любых материалов, в
том числе и диэлектриков. Предполагается распылять мишени в разряде с полым като-
дом в неоднородном магнитном поле, обеспечивающем коэффициент использования их
материала до 85%, а также формировать импульсные пучки нейтральных молекул с
энергией 30–50 кэВ в результате ускорения ионов из плазмы разряда и их перезарядки.
Это позволит создать на поверхности синтезируемых диэлектрических покрытий на ди-
электрических изделиях такие же физические условия, которые уже обеспечили высо-
кую адгезию, твердость и трещиностойкость покрытий на проводящих покрытиях и из-
делиях при подаче на них высоковольтных импульсов отрицательной полярности.
ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ
В научно-технических журналах из перечня ВАК
1.
Болбуков, В.П
. Регулировка энергии быстрых молекул газа в смешанном с ато-
мами металла потоке изменением сопротивления резистора между рабочей камерой и
эмиссионной сеткой источника / В.П. Болбуков // Вестник МГТУ «СТАНКИН». 2014. №
3. С. 54–57.
2.
Болбуков, В.П.
Распыление мишени на дне полого катода источника быстрых
молекул газа в неоднородном магнитном поле / В.П. Болбуков // Вестник МГТУ
«СТАНКИН». 2014. № 2. С. 111–117.
3.
Болбуков, В.П
. Устройство для осаждения тонких пленок с бомбардировкой
быстрыми атомами аргона / А.С. Метель, В.П. Болбуков, М.А. Волосова, С.Н. Григорь-
ев, Ю.А. Мельник // Приборы и техника эксперимента. 2014. № 3. С. 114-121.
4.
Болбуков, В.П.
Осаждение металлических и нитридных покрытий на изделиях
сложной геометрической формы / С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, А.С. Метель, Ю.А.
Мельник, В.П. Болбуков // Упрочняющие технологии и покрытия. 2012. № 12. С. 44–48.
5.
Болбуков, В.П.
Осаждение покрытий в смешанном потоке металлического пара
и быстрых молекул газа / В.П. Болбуков // Вестник МГТУ «СТАНКИН». 2012. № 4. С.
51–55.

17
6.
Болбуков В.П.
Источники широких пучков быстрых молекул с секционирован-
ными холодными катодами и эмиссионными сетками / А.С. Метель, С.Н. Григорьев,
Ю.А. Мельник, В.П.

жүктеу/скачать 0,69 Mb.

Достарыңызбен бөлісу:

1 ... 7 8 9 10 11 12 13 14 15