Тлеющий разряд



Pdf көрінісі
бет11/15
Дата01.12.2022
өлшемі0,69 Mb.
#160807
түріАвтореферат
1   ...   7   8   9   10   11   12   13   14   15
Байланысты:
Bolbukov-avtoreferat FIN(1)

В заключении
анализируются основные результаты работы. 
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ 
1. Показано, что плотность потока из полого катода тлеющего разряда через отри-
цательную по отношению к нему сетку распыляемых ионами аргона атомов материала 
катода, сопровождаемых до изделия быстрыми атомами газа, и скорость их осаждения 
на изделии возрастают с увеличением катодного падения потенциала и тока разряда, а с 
ростом энергии быстрых атомов аргона скорость осаждения снижается до нуля при 
энергии свыше 0,5 кэВ.
2. Доказано, что однородный поток через эмиссионную сетку атомов металла на 
сравнимом с ее диаметром расстоянии становится из-за их большого углового разброса 
неоднородным. Перекрытие потока атомов металла через центр сетки обеспечивает вы-
сокую однородность толщины покрытия на неподвижной подложке с диаметром, соиз-
меримым с диаметром сетки, при сохранении однородности бомбардировки осаждаемо-
го покрытия быстрыми атомами и его высокой адгезии. 
3. Показано, что при использовании бипотенциального полого катода с изолиро-
ванным дном в качестве мишени и подаче на него отрицательного напряжения до не-
скольких киловольт скорость распыления при том же токе в цепи мишени на порядок 


16 
выше, чем в магнетронном разряде с напряжением в сотни вольт, а неоднородность рас-
пыления ее поверхности не превышает 15%. 
4. Установлено, что в неоднородном магнитном поле с магнитными линиями, про-
ходящими через центральную зону мишени и пересекающими сетку, катод и частично 
периферию мишени, доля ионов, поступающих из плазмы на мишень, при магнитной 
индукции на границе мишени 
B
o
= 1 мТл повышается от 12 до 25%, а при 
B
o
= 1 мТл – 
до 56%, при сохранении однородности распыления 85% поверхности мишени и потоке 
распыленных атомов на подложку, на порядок превышающем поток быстрых молекул 
газа.


Достарыңызбен бөлісу:
1   ...   7   8   9   10   11   12   13   14   15




©engime.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет