Жартылай өткізгішті микросұлбаларды жасау үшін диаметрі кемінде 30-60 мм және қалыңдығы 0,25-0,4 мм кремнийді монокристалды пластиналар қолданылады
жүктеу/скачать 13,66 Kb.
|
ккк
|
Жартылай өткізгішті микросұлбаларды жасау үшін диаметрі кемінде 30–60 мм және қалыңдығы 0,25–0,4 мм кремнийді монокристалды пластиналар қолданылады. Микросұлба элементтері - биполярлы және өрістік транзисторлар, диодтар, резисторлар және конденсаторлар - жартылай өткізгіш пластинада дискретті жартылай өткізгіш құрылғылар технологиясынан белгілі әдістермен (селективті диффузия, эпитаксия және т.б.) қалыптасады. Қосылымдар жолдар кремниймен жанасуы керек жерлерде (эмиттер аймағында, базасы, транзистордың коллекторы және т.б.). Микросұлба элементтерін оның қорытындыларымен байланыстыру үшін өткізгіш жолдарда ұзартылған секциялар жасалады - контакт төсемдері. Резисторлар мен конденсаторлар кейде шашырату арқылы жасалады. Жартылай өткізгішті микросұлбаларды дайындау топтық әдіспен жүзеге асырылады, онда бір пластина 1-де бір мезгілде бірдей функционалдық құрылымдардың көп саны (300 - 500-ге дейін) (элементтер мен өзара байланыстар жиынтығы) жасалады (3-сурет). Бір уақытта 20 пластинаға дейін өңделеді. Элементтер мен өзара байланыстарды қалыптастыру бойынша барлық операцияларды орындағаннан кейін пластина кристалдар деп аталатын бөлек тақталарға 2 кесіледі. Әрбір кристалда бір функционалды құрылым бар. Ол 3 корпустың негізіне бекітіледі, жастықшалар жұқа өткізгіштердің көмегімен микросхема терминалдарына қосылады, содан кейін 4 корпустың қақпағы негізге салынып, кристалды қоршаған орта әсерінен қорғауды қамтамасыз ететін корпус тығыздалады. Конденсаторлар диэлектрлік негізге 1 (12-сурет) үш қабаттың бірізді тұндыруымен жасалады: металл - диэлектрик - металл. Конденсатор тақталарын құрайтын металл қабаттар 3 әдетте алюминийден жасалған. Диэлектрик ретінде кремний оксиді, алюминий оксиді, боросиликатты шыны және т.б. пайдаланылады. 2. Мұндай конденсатордың сыйымдылығы пластиналардың ауданына, диэлектриктің қалыңдығына және диэлектрлік өткізгіштігіне байланысты, 100-ден 5000 пФ-қа дейін ауытқиды. жұмыс кернеуі 60 В дейін. Сыйымдылықтың температуралық коэффициенті (35 - 400 )10~in deg-1, жиілік диапазоны 300 - 500 МГц дейін. жүктеу/скачать 13,66 Kb. Достарыңызбен бөлісу:
|