Тлеющий разряд
Апробация результатов диссертации
жүктеу/скачать 0,69 Mb. Pdf көрінісі
|
Bolbukov-avtoreferat FIN(1)
- Бұл бет үшін навигация:
- Структура диссертации
- СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Во введении
- Первая глава
| Апробация результатов диссертации
. Результаты диссертационной работы док- ладывались и обсуждались на 12-ой Международной конференции по модификации ма- териалов пучками частиц и потоками плазмы (Томск 2014), 66-ой Международной кон- ференции по газовой электронике (Принстон 2013), 11-ой Международной конференции «Пленки и покрытия» (Санкт–Петербург 2013), 2-ой Международной заочной конфе- ренции «Инновационные материалы и технологии в машиностроительном производст- ве» (Орск 2013), 2-ой Всероссийской научно-технической конференции молодых уче- ных, аспирантов и студентов с международным участием «Высокие технологии в со- временной науке и технике» (Томск 2013), 50-ой и 51-ой Международных научных сту- денческих конференциях «Студент и научно-технический прогресс» (Новосибирск 2012 и 2013) и 7-ой Международной научно-практической конференции «Техника и техноло- гия: новые перспективы развития» (Москва 2012). Основные результаты исследований изложены в 20 трудах, из них 9 статей, опуб- ликованных в научных журналах перечня ВАК, материалы 11 докладов, опубликован- ных в сборниках Международных конференций, по результатам работы получены 2 па- тента Российской Федерации. Список основных публикаций по теме диссертационной работы приведен в конце автореферата. Структура диссертации . Диссертация состоит из введения, 4 глав, и заключения с общим объемом 116 страниц, содержит 56 рисунков. Список цитируемой литературы включает 102 наименования. СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ Во введении обосновывается актуальность, цель, научная новизна и практическая ценность работы. Излагается краткое содержание диссертации, и формулируются выно- симые на защиту научные положения. 7 Первая глава содержит обзор литературных данных по источникам атомов ме- талла и источникам ускоренных частиц для бомбардировки покрытий в процессе их осаждения. Осаждаемые атомы металла получают испарением мишеней электронным пучком или катодными пятнами вакуумной дуги, магнетронным распылением, а также распы- лением пучками ускоренных ионов. Ускоренные ионы, бомбардирующие проводящее покрытие, осаждаемое на поверхности проводящего изделия, часто получают путем по- гружения изделия в плазму газового разряда и подачи на него напряжения отрицатель- ной полярности. Подать напряжение на погруженные в плазму изделия из диэлектриков невозмож- но, и при осаждении на них покрытий используют пучки ускоренных ионов или быст- рых молекул. Известные сеточные ионные источники формируют пучки с током свыше 1 А лишь при энергии ионов 1 кэВ и выше. Разработанные А.В. Жариновым источники с анодным слоем формируют пучки с током 1 А также при напряжении более 1 кВ. По- этому использовать их для бомбардировки покрытия ионами с энергией 100 эВ и то- ком до нескольких ампер невозможно. В источнике быстрых молекул газа (А.С. Метель, С.Н. Григорьев 1997) одна сетка с высокой прозрачностью совмещает функции элемента электростатической ловушки тлеющего разряда, генерирующего плазменный эмиттер ионов, эмиссионного электрода и коллектора, собирающего медленные ионы, образующиеся в камере при перезарядке. При синтезе покрытия на изделии сложной геометрической формы с полостями и выступами необходимо непрерывно бомбардировать покрытие быстрыми частицами. Это требование выполняется лишь в том случае, если атомы металла стартуют с той же самой эмиссионной поверхности, что и бомбардирующие покрытие быстрые частицы. В связи с этим необходимо разработать источники смешанных потоков быстрых молекул газа и атомов металла. Можно использовать в качестве мишени изготовленный из необходимого металла полый катод или мишень внутри него. В обоих случаях через эмиссионную сетку одно- временно поступают атомы металла и быстрые молекулы газа. Очевидно, что скорость синтеза покрытий и их характеристики будут зависеть от плотностей потоков частиц, их угловых распределений, энергии молекул, давления газа и других физических парамет- ров. Все эти зависимости подлежат экспериментальному изучению. На основании проведенного анализа в конце главы формулируются задачи экспе- риментальных исследований. жүктеу/скачать 0,69 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|