Лекции по наноматериалам и нанотехнологиям
Применение АСМ в нанотехнологиях
жүктеу/скачать 12,63 Mb. Pdf көрінісі
|
Nanomateriali i nanotehnologii bak
| 2.9.4. Применение АСМ в нанотехнологиях
АСМ - многофункциональный аналитический инструмент для исследования структуры поверхностей, распределения приповерхностных силовых и температурных полей, распределения величин характеристик физических свойств с нанометровым и атомным разрешением. АСМ - инструмент локальной модификации поверхности и для нанолитографии. Структуру непроводящих поверхностей можно исследовать только с помощью атомного силового микроскопа. Диагностика приборных структур . Разновидность АСМ - электронно- силовой микроскоп (ЭСМ) определяет распределение электрического поля на и емкости на поперечных сколах слоистых структур. Так определяют положение и протяженность p n -перехода в лазерных гетероструктурах и распределение инжектированных носителей в волноводной области. В электронной промышленности АСМ используется для контроля качества матриц цифровых видеодисков и самих видеодисков, а также для пластинок для интегральных микросхем. Диагностика эпитаксиальных пленок . Данные о структуре поверхности эпитаксиальных пленок, границ между слоями, типах и распределениях дефектов, их зависимостей от условий роста позволяют исследовать механизмы роста и определять их оптимальные режимы. АСМ позволяет определить размеры и формы квантовых точек, их распределение и их количество на единицу площади поверхности. На рис. 2.20 приведены АСМ-изображения показывающие влияние условий роста на формирования самоорганизованных массивов квантовых точек германия на поверхности кремния (100). Рис. 2.20. а, б, в соответствуют росту слоев германия при 700 о С ; осаждено 5,5 ,9 и 11 монослоев германия соответственно. На рис. 2.20. г, д, е показаны результаты осаждения девяти монослоев +германия при температурах 600, 700, 750 о соответственно. Такая информация 123 необходима для создания структуры лазеров на квантовых точках и фотопреобразователей. Рис. 2.20. Влияние условий эпитаксиального роста на формирование самоорганизованных массивов квантовых точек германия на поверхности кремния (100). а) Осаждено 5,5 слоев германия, б) осаждено 9 монослоев германия, в) осаждено11 монослоев. Все при 700 С. г) Осаждено 9 слоев Ge при температуре 600 С, д) 9 слоев при 700 С, е) 9 слоев при 750 С. [6] Эти примеры свидетельствуют, что АСМ - мощное средство исследования полупроводниковых материалов и наноструктур при нанометровом разрешении. Существуют также электросиловая зондовая микроскопия , в которой используется локализованное электрическое поле между кончиком зонда и образцом. Образуется конденсатор из зонда и поверхности. В магнитно-силовой зондовой микроскопии используется покрытый тонким слоем ферромагнетика (железо, кобальт) зонд и намагниченная поверхность. Взаимодействуют магнитный домен на конце зонда и магнитные домены исследуемой поверхности. жүктеу/скачать 12,63 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|