Б) Давление в объеме 5 ниже атмосферного

Бұл жағдайда қысым мәнін термопара түрлендіргішімен өлшеу қажет және егер ол мм

сын.бағ.-нан төмен болса, клапанды 2 жауып, механикалық сорғыны, бу ағынының сорғысын

салқындатуды, бу ағынды сорғының қыздырғышын және ашық клапанды 3 қосыңыз. 30-40

минуттан кейін (6) клапанын ашып, бу сорғысы арқылы көлемді сорып алыңыз.

Жағдайға ескерту

а) өте аз көлемді сору созылу келесідей ұсынылады. 5 қысым көлемінде 10-1 мм рт. ст. жеткен

кезде. ст.. бу-май сорғысын қыздыру кезінде вентильді 6 жабу керек. Бұл жағдайда жұмыс

сұйықтығын жылыту кезінде оңай қайнайтын фракциялар сорылатын көлемге енбейді. Қондырғыны

өшіру үшін алдымен вакуумметрдің иондаушы түрлендіргішін өшіріп, 6 клапанын жабу керек.

Бу сорғысының жылытқышын өшіріңіз және 30 40 минуттан кейін клапанды жабыңыз 3,

механикалық сорғының қозғалтқышын өшіріңіз. Бу ағынды сорғыны салқындатуды өшіріңіз және

клапанды ашып, атмосфералық ауаны механикалық сорғыға жіберіңіз 2.

Үшінші топтың әдеттегі орнату схемасы 3- суретте көрсетілген.

Сурет: 3. Айналмалы сызығы бар жоғары вакуум алуға арналған қондырғы.

Мұндай вакуумдық схемаларды жұмыс күні ішінде айдаудың бірнеше циклын (пленкаларды

термиялық және иондық алу қондырғыларын) жүргізу қажет болған жағдайларда қолданады,

плазмохимиялық өңдеу қондырғылары және т.б.). Бірінші сору циклінде жұмыс тәртібі тікелей

ағынды қондырғымен бірдей (сурет. 2). Тек 11 айналма жолының клапанына назар аударыңыз, ол

жабылуы керек. Қажетті вакуумға қол жеткізгеннен кейін және технологиялық процесті 5 көлемде

жүргізгеннен кейін оны герметизациялау және дайын үлгілерді алу қажет. Ол үшін 6 клапанды

жауып, атмосфералық ауаны 5 клапанды ашып, 9 көлеміне жіберу керек.

Келесі сору циклі үшін 9 клапанды жауып, 3 клапанды жауып, 11 айналмалы клапанды ашыңыз.

Көлемді бу сорғысын іске қосу қысымына дейін сорып алыңыз (10-1 мм рт.ст. дейін). ст.), 11

клапанын жауып, 3 және 6 клапандарын ашыңыз. Көлемі 5 арқылы реттелетін газ ағынын жасау

үшін вакуумдық қондырғы 8 кескішпен жабдықталуы мүмкін.

Назар аударыңыз! Атмосфералық ауаны 5-көлемге жіберер алдында 10 иондаушы манометрлік

түрлендіргішті өшіру қажет. Орнатуды өшіру тәртібі тікелей ағынды жүйеде бірдей.

Ультра жоғары вакуумның төртінші тобының қондырғылары (10-8 мм рт.ст. төмен. ст.) тікелей

ағынды схема бойынша да, айналмалы сызығы бар схема бойынша да жобалануы мүмкін.

Жоғары вакуумды өндіруге арналған қондырғылардан айырмашылығы:

1. Ультра жоғары вакуумға қол жеткізу үшін жоғары вакуумдық сорғылардың басқа түрлері

қолданылады (иондық-сорбциялық, турбомолекулалық және криогендік);

2. Жоғары вакуумдық сорғы мен сорылатын көлем арасында құбырға газдың кері ағынын азайту

үшін қандай да бір тұзақ қосылады;

3. Коммутациялайтын аппаратура мен құбыржолдар тұтас металды және қыздырылатын етіп

дайындалады;

4. Арнайы манометрлік түрлендіргіштерді қолданыңыз.