Вакуумдық Қондырғылармен, олардың Әдістемесі және жұмыс істеу тәсілдерімен танысу

Әрбір вакуумдық қондырғы вакуумды өлшеу құралдарымен - вакуум өлшегіштермен

жабдықталған. Ең кең таралған отандық өлшеу құралы - термопары мен иондану датчиктерімен

бірге жұмыс істейтін VIT-3 вакуум-өлшегіші, олардың тіркесімі өлшенген қысым диапазонын 10-1

-ден 10-7 мм сынап бағанасына дейін жабуға мүмкіндік береді.

ПМТ-2, ПМТ-4М термопара датчиктері қысымды 10-1 - 10-3 мм сынап бағанасы аралығында өлшеуге арналған.

Манометр жұмысының принципі газдың жылу өткізгіштігінің қысымға тәуелділігіне негізделген.

Өлшегіш түрлендіргіш электр тогымен 40-160 ° C температураға дейін қыздырылған платина

жіпінен және жіптің температурасын өлшейтін хромель-копель термопарынан тұрады. Газ

қысымының жоғарылауы платина жіпінен газ арқылы жылу өткізгіштік жолмен алынатын жылу

мөлшерінің артуына әкеледі. Бұл жағдайда жіптің температурасы төмендейді. Әрине, термоЭҚК

қысымға тек кейбір шектерде тәуелді болады, бір жағынан молекулалардың еркін жүру қатынасы

мен құрылғының өлшемімен шектеледі, ал екінші жағынан жылу өткізгіштіктің жылу шығындарының

басқа түрлерімен салыстырғанда газ. Өлшенген қысымның төменгі шегінде, яғни. 10-4 мм сынап

бағанасының қысымы кезінде жіптің температурасы мен термоЭҚК ең жоғары болады. ПМТ-2 шам

қыздырғышының жұмыс тогындағы максималды термоЭҚК - 10 мВ.

Әрбір өлшеуіш шаммен бірге орташа калибрлеу қисығы беріледі. Бұл қисықты пайдалану үшін

жылытқыштың дұрыс токын таңдау керек. Әр шамның жеке сипаттамаларына байланысты бұл ток

90-150 мА аралығында болады және уақыт өте келе өзгеруі мүмкін (мысалы, термопараның

ластануына байланысты және т.б.). Сондықтан жіп тогы термопары манометрінің паспортында

көрсетілмеген. 10–1–3–3 мм сынап бағанасы аралығындағы қыздыру тогын таңдау. термоЭҚК 10-

4 мм сынап бағанасы қысымында максималды мәнге жететіндігін пайдаланып жасалуы мүмкін.

және қысымның одан әрі төмендеуімен өзгермейді. Әрбір калибр шамымен бірге жеткізілетін

орташа калибрлеу қисығы өлшеуішті құрғақ ауамен толтыруға сәйкес келеді. Жылу өткізгіштік

коэффициенті әр түрлі газдар үшін әр түрлі болғандықтан, термопары манометрінің көрсеткіштері

газ түріне байланысты болады. Түрлі газдардың конверсия факторлары 1-кестеде көрсетілген.

Қайта есептеу мына формула бойынша жүргізіледі:

Pg = qg�Pv,

мұндағы P - құрғақ ауа қысымы, q g - сезімталдық коэффициенті.

PMI-2 иондау сенсоры газ қысымын 10 –3 - 10-7 мм Hg аралығында өлшеуге арналған. Манометр

жұмысының принципі газ молекулаларын вольфрамды ыстық катод шығаратын электрондардың

иондануына негізделген. Иондық ток бүкіл өлшеу ауқымындағы қысымға сызықтық

пропорционалды.

Өлшенген қысымның жоғарғы шегі жоғары қысым кезінде катодты эмиссиялық қабілеттің тез

жоғалтуымен анықталады. Төменгі шегі тордан шыққан рентгендік сәулелену мен коллектордан

фотоэлектронды шығарудан туындаған фондық ағымдардың шамасына байланысты.

Ионизатордың көрсеткіштері газдың түріне байланысты. Манометр шкаласы құрғақ ауа (азот) үшін

калибрленген, басқа газдардың қысымын анықтауға арналған конверсия коэффициенті 2-кестеде

келтірілген.

Конверсия келесі формула бойынша жасалады:

Pg = Pw / кг,

мұндағы P - құрғақ ауа қысымы, k g - коэффициент сезімталдық.

Тәжірибелік қондырғы, оны пайдалану ережелері

Зертханалық жұмысты кез-келген вакуумдық қондырғыда механикалық және бу ағынды

сорғылары, термопара және ионизациялық вакуумметрлермен жүргізуге болады. Вакуум

қондырғыларының жұмысының жалпы ережелерін қарастырыңыз.

Механикалық сорғыны атмосфералық қысым кезінде қосуға болады. Сорғыны іске қосқан кезде

сорғы қозғалтқышын екі-үш рет қосып, бірден сөндірген жөн, содан кейін ғана оны үздіксіз режимде

қосқан жөн. Термопара вакуум өлшегішті кез-келген қысым кезінде қосуға болады, бірақ өлшеу

алдында жіптің ағымының жұмыс тогына сәйкестігін тексеру керек және қажет болған жағдайда

жіптің ток мәнін дұрыс қою керек.

Бу ағынды сорғыны жүйеде қысым 10-1 мм аспайтын қысыммен қосуға рұқсат етіледі. Бу ағынды

сорғының қыздырғышын қосқан кезде сорғы қабырғаларын салқындатуды қосу қажет. Бу ағынды

сорғы жылытқыш қосылғаннан кейін 30-40 минуттан кейін жұмыс істей бастайды. Осы кезеңде